0063项目概况:********项目内容:双频激光干涉仪及高精度称重模块********采购清单及技术要求:双频激光干涉仪:★1、双频激光器单元;(1)激光功率:≥********(2)双频激光频差:≥5±1MHz(3)数量:1个★2、信号接收及处理单元:(1)相位卡支持测量轴###路(2)最高分辨率:≤********(3)测量精度(空气环境):≤********(4)...
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